什么是纳米光刻机？ 纳米光刻机是一种用于制造微电子芯片的关键工具。它使用光学技术将芯片上的图案投影到硅片上，并通过化学反应将图案转移到硅片上。光刻机的分辨率越高，就可以制造出更小的芯片，从而提高芯片的性能和密度。 目前，中国制造的最新纳米光刻机是ASML公司的EUV光刻机，它的分辨率可以达到7纳米。这是目前全球最先进的光刻技术之一，可以制造出更小、更快、更节能的芯片。 中国制造的EUV光刻机的技术特点 EUV光刻机是一种使用极紫外光（EUV）的光刻技术。相比传统的紫外光刻技术，EUV光刻机具有